西克：半導體加工行業應用案例分享

　　縱觀半導體設備的發展歷史，不難發現半導體設備緊隨全球芯片制造中心而不斷東移：從70-80年代的美國，到80-90年代的日本，再到90年代后期的中國臺灣與韓國。

　　隨著中國高端制造技術的不斷發展，與本身龐大的市場需求相互幫襯，未來十年，中國有望成為半導體芯片制造的全球中心。

　　目前，在國家重大科技專項的支持下，集成電路主要工藝設備如PVD、PECVD、CMP、介質刻蝕機、CMP等技術均有顯著提升。而IC晶圓生產線的設備國產化率也在不斷提高。設備技術的提升也拉高了對光學傳感器性能的需求。除了對精度、穩定性等性能要達到極高的標準外，傳感器也被要求實現更多的檢測任務。

　　作為有著超過75年歷史的工業傳感器領先生產廠商，SICK具有深厚的技術積累，豐富的產品種類，可以為半導體設備廠商提供更多樣的產品、更優異的性能以及更專業的服務。

1、硅板厚度測量

　　產品系列：OD5000位移測量傳感器

　　訂貨號：6063621

　　客戶應用:

　　太陽能硅片分選機，客戶需求在皮帶輸送線上檢測硅片的厚度，精度要求為2um

　　采用2*OD5000-C30T05上下組合方式，來測量硅片的厚度

　　客戶利用上位機接受數據做算法處理，判定硅片的規格

　　客戶受益：

　　雙頭側厚，通過以太網接口和集成在傳感器內部評價單元，無需額外控制器計算

　　高達80kHZ測量頻率，準確測量微小變化

　　激光定位更加柔性，可視覺，產品定位精度更高

　　實時在線測量，相對于線激光方案，節省成本，精度更高

2、石英載具到位檢測

　　產品系列：WTF12G

　　訂貨號：1065719

　　客戶應用：

　　石英載具裝載硅片進行熱處理、涂層等一系列工藝流程。

　　需要對半透明石英載具進行穩定到位檢測，由于熱處理中溫度較高，無法安裝反射板，只能選擇漫反射。

　　檢測距離較遠，無法使用V鏡頭光電傳感器。

　　客戶受益：

　　WTF12G是漫反射前景抑制型原理，無需反射板，只需對背景進行示教即可

　　可以穩定地檢測透明、半透明等物體

　　檢測距離可達700mm

3、硅片檢測：

　　產品系列：G2F，WTV4FE

　　WTV4FE訂貨號：1105444

　　GTB2F訂貨號：1093737

　　客戶應用：

　　檢測硅片的到位與有無，硅片表面光學性能特殊，普通漫反射光電很難穩定檢測

　　安裝空間十分有限，需要迷你型尺寸光電

　　無法安裝鏡反射與對射型光電

　　客戶受益：

　　G2F扁平型外觀設計，可以安裝在狹小的空間中

　　獨特的V型鏡頭設計，可穩定檢測高反光、透明薄膜，深黑色吸光平面。

　　WTV4FE可進行旋按式示教，V鏡頭檢測距離增加至50mm

　　產品系列：WTT4SLC

　　訂貨號：1097190

　　應用需求要點：

　　檢測距離400-500mm

　　檢測邊緣，客戶需要光斑盡可能小

　　安裝位置有限制，只能接受漫反射光電

　　客戶受益：

　　WTT4SLC時間飛行原理，可穩定從傾斜角度或側面檢測帶有弧度的物體，并且不受物體表面顏色和材質的影響

　　具有優異的背景抑制性能，可穩定屏蔽背景干擾

　　漫反射檢測，最遠可達到1.3m檢測距離

　　光斑聚攏，4mm(1m)，可以從側面檢測薄片邊緣

4、Roller(輸送輪)粗糙度區分：

　　產品系列：Glare系列光澤度傳感器

　　應用需求要點：

　　現場面板傳輸設備運輸基板一段時間后，基板與Roller摩擦導致Roller表面光滑，失去輸送力。

　　不同摩擦情況不同導致基板受力不均勻，造成良率下降，稼動率降低，客戶使用Glare光澤度傳感器對Roller表面粗糙程度進行檢測。

　　客戶受益：

　　原本客戶解決方法為工作人員定期停機檢查，使用自制比對卡進行人眼對比觀察。

　　使用Glare光澤傳感器后客戶受益如下：

　　降低檢測誤差

　　減少檢查時間

　　節省人力資源